覆层厚度的测量方法主要有：楔切法，光截法，电解法，厚度差测量法，试样校准，称重法，x射线荧光法，β射线反向散射法，电容法、磁性测量法及涡流测量法等。这些方法中有五种是有损检测，测量手段繁琐，速度慢，多适用于抽样检验。 x射线和β射线法是无接触无损测量，试样校准公司，但装置复杂昂贵，测量范围较小。因有射线源，使用者必须遵守射线防护规范。x射线法可测极薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。
1. 对比试样的人工缺陷应使用酒精或c?h?o进行清洗，用滤纸擦干，保持表面清洁，无锈蚀、金属屑、毛刺、污染物等影响测量的缺陷。
2. 将对比试样人工缺陷平行放置在载物台上(---时使用合适的工装予以固定)，调整试样，试样校准，使人工槽长度或宽度方向与显微测量设备的x或y轴平行。
3. 显微镜在合适的明场条件下，先用低放大倍数（10×或20×）找到人工缺陷位置，试样校准方案，再换---放大倍数对试样---，调整载物台及试样，使人工缺陷处于视场中央。 调整测量设备，使测量面---清晰，选择测量点位。
是用来测量材料及物体厚度的仪表。在工业生产中常用来连续或抽样测量产品的厚度（如钢板、钢带、薄膜、纸张、金属箔片等材料）。这类仪表中有利用α射线、β射线、γ射线穿透特性的厚度计；有利用超声波频率变化的超声波厚度计；有利用涡流原理的电涡流厚度计；还有利用机械接触式测量原理的测厚仪等。用于测定材料本身厚度或材料表面覆盖层厚度的仪器。有些构件在制造和检修时必须测量其厚度，以便了解材料的厚薄规格，各点均匀度和材料腐蚀、磨损程度；
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