对比试样校准测量前的准备 

1. 对比试样的人工缺陷应使用酒精或c?h?o进行清洗，用滤纸擦干，保持表面清洁，无锈蚀、金属屑、毛刺、污染物等影响测量的缺陷。  

2. 将对比试样人工缺陷平行放置在载物台上(---时使用合适的工装予以固定)，调整试样，使人工槽长度或宽度方向与显微测量设备的x或y轴平行。

3. 显微镜在合适的明场条件下，先用低放大倍数（10×或20×）找到人工缺陷位置，再换---放大倍数对试样---，调整载物台及试样，使人工缺陷处于视场中央。  调整测量设备，使测量面---清晰，选择测量点位。

对比试样校准类型

1.涡流-当载有高频电流的探头线圈置于被测金属表面时，由于高频磁场的作用而使金属体内产生涡流，此涡流所产生的磁场又反作用于探头线圈，使其阻抗发生变化，此变化量与探头线圈离金属表面的距离（即覆盖层的厚度）有关，因而根据探头线圈阻抗的变化可间接测量金属表面覆盖层的厚度。常用于测定铝材上的氧化膜或铝、铜表面上其他绝缘覆盖层的厚度。

2.同位素-利用物质厚度不同对辐射的吸收与散射不同的原理，可以测定薄钢板、薄铜板、薄铝板、硅钢片、合金片等金属材料及橡胶片，塑料膜，纸张等的厚度。常用的同位素射线有γ射线、β射线等。

对比试样校准测量方法

覆层厚度的测量方法主要有：楔切法，光截法，电解法，厚度差测量法，称重法，x射线荧光法，β射线反向散射法，电容法、磁性测量法及涡流测量法等。这些方法中有五种是有损检测，测量手段繁琐，速度慢，多适用于抽样检验。  x射线和β射线法是无接触无损测量，但装置复杂昂贵，测量范围较小。因有射线源，使用者必须遵守射线防护规范。x射线法可测极薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。